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气浮综合性主动隔振系统

LaserTable-Base™是现有光学平台隔振技术的一大飞跃。通常，光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的振动。

罢惭颁的厂罢础颁滨厂通过结合压电致动器和惯性振动传感器的专有技术克服了这些限制，可消除而不会放大极低频振动。尝补蝉别谤罢补产濒别-叠补蝉别将这两项技术（空气和厂罢础颁滨厂）整合到一个集成的消振系统中。由于两个串联隔振系统的综合效应，这实现了低频率消振和**的高频隔振水平。

LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计，可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔振器或刚性、非隔振支架，具体取决于应用要求。

规格

? 采用STACIS®技术

? 主动惯性消振系统

? 消振从低于1 Hz开始

? 加长行程的压电致动器，高达60微米。

? 6个主动自由度

? 由两个串联隔振系统组成，可实现**隔振效果

? 采用MaxDamp®空气隔振器

? 简单、坚固且经济高效

? 可选的搁板，用于在工作台下方安装设备

? 包括TMC的DC-2020数字控制器

性能

将低频、被动MaxDamp®空气隔振器与压电主动消振系统串联在一起，可得到整体传递率曲线，即两条单独传递率曲线的总和。由此产生的隔振性能非常显著，在某些频率范围内，我们受到测量仪器噪声基底的限制。并且无法测量和演示完整的隔振性能。也就是说，在10-12 Hz以上，组合系统的实际性能预计将超过所示性能，因为组合隔振理论上是两个子系统所提供的隔振的总和。

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